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ナノ構造化された懸垂グラフェンのひずみ制御用コムドライブアクチュエータの作製

(Fabrication of comb-drive actuators for straining nanostructured suspended graphene)

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監修者

阪上雅昭(SAKAGAMI Masa-aki)
京都大学 人間・環境学研究科 名誉教授

論文研究シリーズ
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